复合式(mixed type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,厂房洁净装修,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(clean tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到---之洁净度,可节省能源,食品洁净厂房装修,不需人工的自动化生产线为适宜使用。---、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(clean spot):将洁净室等级10,宿迁洁净厂房,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
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化学光催化法
工作原理:空气通过光催化空气净化装置时,光触媒在光的照射下自身不起变化,却可以促进化学反应的物质空气中的---如甲醛等在光催化的作用下发生降解,生成---无害的物质,而空气中的---也被紫外光除掉,空气因此得到净化。缺点:广谱但需要空气流速较低,净化速度比较慢并且对人体有一定的辐射,在欧美是被汰的净化方式。
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