净化方法
1.水洗法
利用虹吸以及离心原理,将混合于水的净化剂通过虹吸原理吸入其电机底座的同轴离心涡轮下部的吸管中,通过交流罩极电机高速旋转,再利用离心原理,将混合于水的净化剂喷在瓶胆内形成一层水膜,将空气中的灰尘以及---吸入水中,同时将经过净化的空气吹入室内,---地去除室内的有毒生物、灰尘、烟味、臭味、---等,并产生大量的新鲜氧气。
2.负离子法
---负离子与空气中漂浮的有害气体接触后,电子厂无尘室,能还原来自---的污染物质、氮氧化物、烟等产生的活性氧(氧自由基)、减少过多活性氧对人体的危害;中和带正电的空气飘尘无电荷后沉降,使空气得到净化。
提高设备水平
设备的材质、加工精度、密闭程度以及管理制度都与交叉污染有关。所以洁净车间除了合理布局外,提高设备的自动化水平和组成联动的生产线,淮北无尘室,以减少操作人员,降低人员的活动频率,是防止交叉污染的---措施。
分设洁净车间空调净化系统
洁净室的空调净化系统应根据不同的洁净度等级分设。对β-内---类、------、强毒微生物等的工作室,应设置空调净化系统,其排风口应安装过滤设备,以将这些药的污染降至低限度。对不同洁净度等级的洁净室,产生粉尘和有害气体的洁净车间,被排介质毒性大的、,应单独设局部排风系统。洁净车间的排风口应有防倒灌装置。送风、回风和排风的启闭应有连锁装置。
复合式(mixed type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,无尘室工程,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(clean tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到---之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。---、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(clean spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
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